Skip to Content
"Om de kleinste onderdelen te kunnen meten is een juiste belading van een RGA systeem cruciaal. Hierdoor voorkom je een onnodige afkeur door een foutieve meting."

​- Koen van der Merwe

RGA Rekentool

Met de RGA Rekentool van OMNEO weet u direct hoeveel onderdelen nodig zijn voor een betrouwbare RGA-meting volgens ASML-specificaties.

Onze D&M CF150 meet ook de kleinste onderdelen uiterst nauwkeurig. Vul eenvoudig de uitgassingsspecificaties in vanaf het 160-blad en de tool rekent het benodigde aantal onderdelen voor u uit.

Snel, eenvoudig en betrouwbaar. Uw gegevens worden niet opgeslagen.

Minimaal aantal onderdelen:

Maximale afmetingen

Onze D&M CF150 heeft een laadpoort met een diameter van 150 mm. De diepte van de meetkamer is ook 150 mm. Met deze afmetingen kunt u bepalen of uw onderdeel in het meetsysteem past.

Verschillende onderdelen

Het is mogelijk om verschillende onderdelen in een batch te meten. Neem contact met ons op voor een uitgebreidere calculatie. Wij kunnen u vertellen hoeveel onderdelen per soort u minimaal nodig heeft om ze gezamenlijk te kunnen meten. 

Geen specificatie?

Wij kunnen u helpen met het bepalen van de uitgassingsspecificatie. Neem contact met ons op en stuur een .stp bestand of totaal oppervlak [cm^2] zodat we u snel kunnen helpen.

Wilt u meer weten over RGA metingen?

Neem contact met ons op.